메이저 사이트지원
나노펩센터
마이크로나노팹센터
Micro Nano Fab Center
21세기 신 산업혁명을 주도할 첨단 메이저 사이트개발을 위해 1997년 KIST에 청정 연구동을 설립하여
Clean Room 및 관련 최첨단 장비와 설비를 구축하고 MEMS 및 Micro/Nano메이저 사이트에 대한
특성화된 첨단메이저 사이트을 개발함으로써 누구나 쉽고 편리하게 관련 인프라를
활용할 수 있도록 지원하고 있습니다.
마이크로나노팹센터 전용 홈페이지 및 연구장비 공동활용 홈페이지를 이용하여 실시간 예약시스템을 통한
단일 공정 서비스 이외에 장비의 일부를 자유롭게 이용할 수 있도록 개방하여 신속하고 정확한 공동활용 서비스를 제공하고 있으며,
원내 및 대학, 연구소, 기업 대상으로 일괄/맞춤형 공정 서비스를 진행하고 있습니다.
KIST 내 크린룸 (Class 10, 100, 1000급의 150평)및 관련 연구를 위한 부대시설을 갖춘, 연면적 2,013평, 지하 1층, 지상 4층 규모의 청정 연구동 완공하여
15년 동안 단계적으로 MEMS/NANO 연구를 위한 최첨단 장비 및 설비 구축을 하고 있습니다.
연간 개방형 장비 활용 교육과 안전시설 교육을 통해 사용자 그룹을 확대하여 공정장비의 효과적인 활용 제고 및 직접 공정 수행을 통한
공정의 이해도 증진 및 교육으로 이용자가 효과적으로 장비를 활용하도록 지원하고 있습니다.
연구분야
마이크로나노팹센터 서비스 소개
- 최상의 공정서비스 제공을 위한 공정상담 및 공정서비스 시행
- 마이크로/나노 제작메이저 사이트 노하우를 기반으로 연구개발 지원 시스템 구축 및 차세대 공정메이저 사이트 개발
- 개방형 장비 활용 교육 및 안전교육 등을 통한 장비의 효율적, 효과적 활용
연구개발(R&D) 공정 지원
- Lithography를 통한 마이크로/나노 패턴 형성(초미세패턴 구현)
- 다양한 종류의 박막 증착 및 식각공정을 통해 연구개발 지원
- 공정 후 표면 구조 및 특성 분석
시제품 제작 및 산업화 지원
- 대면적 6/8인치 기반의 MEMS 공정 whole process 지원
- 다양한 MEMS 소자 및 센서 플랫폼 제작
- 산업화 지원을 위한 맞춤형 증착 및 식각공정
- Post Process 지원 및 제작 소자의 신뢰성 측정
차세대 공정개발
- 차세대 TSV interconnection 공정개발
- 고종횡비의 실리콘 식각 공정 메이저 사이트개발
- 3차원 신경 프로브 제작을 위한 차세대 건식 식각 공정 개발
- 실리콘의 이방성 및 등방성 건식 식각 메이저 사이트 확보 및 이를 이용한 다양한 크기와 높이를 갖는 고밀도의 신경 프로브 제작메이저 사이트 개발