2000년 과학메이저 놀이터 추천부 프론티어사업인 "지능형 마이크로시스템 개발사업" 출범과 더불어사업단 운영에 필요한 Fab 공정장비를 단계적 구축하여 Micro/Nano 시스템 연구 인프라 확충